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Metrology ×Ô¶¯ÏÔ΢¾µ(FE) 3
Metrology ĤºñÕÉÁ¿ 1
DIFF ÎþÉüÑõÀ©É¢Â¯ 1
DIFF ÎþÉüÑõÀ©É¢Â¯ 2
DIFF AGÃæPI¹Ì»¯ 1
DIFF ¼¤¹âÍË»ð 1
CVD PECVD(FE) 1
CVD PECVD(BE) 1
ETCH CCP Etch(FE) 1
ETCH CCP Etch(BE) 1
ETCH µ¥Æ¬È¥½º×°±¸ 1
ETCH Poly Etcher 2
ETCH Metal Etcher 1
PHOTO Í¿½º&ÏÔÓ°»ú 1
PHOTO Í¿½º»ú(BE) 1
PHOTO ÆØ¹â»ú£¨BE£© 1
PVD ½¦Éą̈ 1
PVD Õô·¢Ì¨ 1
PVD ±³Ãæ¼õ±¡»ú 1
WET SEZ 1
PROBE ̽Õę̈ 4
PROBE ²âÊÔ»ú 3
Metrology sorter 1
IMP Î²Æø´¦Öóͷ£Æ÷£¨Îü¸½£© 2
DIFF. Î²Æø´¦Öóͷ£Æ÷£¨µç¼ÓÈÈ£© 8
ETCH Î²Æø´¦Öóͷ£Æ÷£¨µÈÀë×Óˮϴ£© 7
IMP ¸É±Ã 5
WET Dummy clean 1
WET IPA Dryer 1
DIFF ¯¹ÜÖü´æ¹ñ 1
DIFF ¯¹Üϴ媻ú 1
MFG ÖÇÄܵªÆø¹ñ 10

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1.4 ÐÅÓþÒªÇó

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2026-03-03

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